第360章 徒手搓晶圓

　　“小劉，小鄒，妳們確實沒有在糊弄我？”林剛把話說完，就感覺自己有些冒失了。
　　因為視頻裏的兩人都是那處航天基地中出來的。
　　就拿劉成棟而言，他本人是基地的二把手，論起職位級別比林衛國這個光電所的所長還要高上那麽壹頭。
　　林衛國也是仗著年齡大，資歷老，才會喊對方壹聲小劉。
　　至於另壹位鄒穎就更不必說了，她是基地中的技術部門負責人，經常會與光電所這樣的兄弟單位進行合作交流，對彼此的情況也非常熟悉。
　　就拿最先研發投產的虛擬投影腕表而言，裏面幾項核心技術就是采用了光電所的技術儲備。
　　從這樣兩個位高職重的“熟人”口中得知了制造原子級別精度光刻機的事情，林衛國的心中就不免起了幾分將信將疑的心思。
　　沒辦法，誰讓這兩人提到的原子級別的精度實在是太匪夷所思了壹點！
　　說到這，就不得不先簡單提壹下芯片制造的整個流程：晶圓加工－氧化－光刻－刻蝕－薄膜沈積－互連－測試－封裝。
　　而其中最為關鍵的技術步驟，就是光刻。
　　什麽是光刻？
　　簡單點理解就是通過特殊波動的光線將設計好的電路圖案“印刷”到晶圓上。
　　現目前市面上主流的光刻機，按照制程範圍可以分兩種：壹種是通過準分子激光，將193納米光源進行折射的DUV光刻機。
　　DUV光刻機基本只能做到25納米級別，像著名的因特爾公司就采用雙工作臺的魔改方式將DUV光刻機的精度做到10納米，但是無法達到10納米以下。
　　不過DUV光刻已經是過去式，另外壹種更加先進的EUV光刻機，采取的是等離子激光發射，它能發射的光源光波波長能達到13.5納米。
　　在這個曝光精度區間下，壹些先進點的晶圓大廠利用多層曝光的手段，亦或是多工作平臺的疊加，大幅度提升分辨率，讓曝光刻蝕的電路精度級別得到數倍的提升，從而產出7納米甚至更高級別的5納米芯片。
　　但是這樣的取巧方法帶來的結果就是，最終晶圓流片的良品率偏低，進而導致芯片制造成本的成倍上升。
　　這也是為何，高端芯片的價格始終居高不下。
　　想要解決這個問題，就必須不斷提升光刻機的曝光精度，改善芯片的制造工藝。
　　那麽陳決提出的0.1納米精度是什麽概念？
　　就目前人類掌握的精度級別，別說是國內的這些光電所和那些半路出家的半導體研發企業了，就算交給整個行業龍頭的風車國ASML公司都得耗費上幾十年、甚至半個世紀去追趕。
　　壹旦拿到這樣精度級別的光刻母機，別說什麽7納米、5納米芯片了，就算規格、性能再提升百倍、千倍的芯片都能分分鐘造出來。
　　這也是為何林衛國在聽到這個消息後，會表現地如此震驚，實在是因為基地這邊的這顆“衛星”放地太大了壹些。
　　……
　　“林所，這麽重大的事情，我們哪敢忽悠您啊！”
　　“就是這裏頭涉及到的壹些機密技術，不太方面在視頻裏說。”
　　“您老要是不放心，就抓緊帶壹批制造光刻母機的原材料過來！數量越多越好，過了這村可就沒這個店了！”劉成棟在視頻電話裏頗為焦急地說道。
　　因為按照陳覺之前表現出的態度來看，這貨隨時都有可能會因為壹個突然升起的念頭就離開基地。
　　而且陳決上次離開時，走的非常瀟灑幹脆攔都沒法攔。
　　有了上壹回的教訓過後，在沒有將光刻母機拿到手之前，劉成棟懸著的心就不可能放下。
　　好在視頻那頭的林衛國也不是迂腐之人，他知道航天基地背後涉及的第二家園秘密已經足夠驚世駭俗的。
　　在這個基礎上，基地這邊突然拿出制造原子級別精度的光刻母機技術，貌似也變得合情合理起來。
　　於是乎，在通話中與鄒穎和劉成棟再三確認了幾遍後，林衛國就立馬調動了整個光電所的工作人員，將壹大批制造光刻機所需的部件、原材料，以及壹堆工藝流程資料送上了上面安排的鯤鵬運輸機。
　　他自己本人也帶著光電所壹個十幾人的小型團隊，跟著這批物料快速趕往隴省的航天基地。
　　……
　　基地文物藏館，由於缺少線索，暫時想不通那種時間的違和感到底是如何產生的，陳決索性就放下了繼續深入思考的念頭。
　　在藏館內轉了壹圈，走馬觀花式地看了壹眼那些帶著腐朽痕跡的各個年代的歷史文物，陳決嘴裏嘟囔了壹句：“時光逝兮年易盡……就算是這些死物都擋不住時間的侵蝕，更何況是血肉凡胎的古代君王……還好我已經邁出了關鍵這壹步，有的是時間去解決這些謎團……”
　　念叨完這令旁人摸不著頭腦的話，陳決隨後就在劉老這些考古專家詫異的眼光中，慢悠悠地走出了藏館，最後判若無人壹般壹屁股坐到了藏館門口的臺階上。
　　這時劉成棟坐著擺渡車從遠處急匆匆地趕了回來，見陳決像是在鄉下老農蹲坐自家門檻臺階上打發時間，並沒有壹副立刻離開的樣子，也是心中暗松了壹口氣。
　　“老大，再過半小時光電所制造光刻機的物料就送過來了，這壹次看來又得麻煩妳了。”劉成棟說著也壹並挨著陳決席地坐了下來。
　　“造芯片這種事情對普通人而言就是天方夜譚，但是對我來說也只是舉手之勞而已，不用太客氣。”陳決擺了擺手不以為意地回了壹句，順帶把玩了壹下智能腕表，將基地資歷庫裏收錄的有關芯片制造的相關工藝資料壹篇篇快速投影翻閱起來。
　　在見到陳決那匪夷所思的閱覽速度後，坐在邊上的劉成棟也是驚愕地有些瞠目結舌起來。
　　好家夥！
　　這速度都不能說是壹目十行了，直接壹目壹頁了。
　　外頭那些大學生要是有這閱讀速度和記憶能力，過什麽英語4、6級，考研、讀博還不跟玩似的。
　　陳決則是無視了對方的詫異，專註地掃了壹圈芯片制造工藝流程後，就伸手壹戳地面，好似在抓豆腐壹般，將壹塊巴掌大小的水泥板摳到了手掌心中。
　　“先試試晶圓加工好了！”